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正偏压对纳米金刚石薄膜结构和电阻率的影响

吴南春 , 夏义本 , 谭寿洪 , 刘健敏 , 苏青峰 , 王林军

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.00381

采用电子辅助热丝化学气相沉积工艺, 在1kPa反应气压和施加不同的偏流条件下, 沉积了纳米金刚石薄膜. 用X射线衍射, 场发射扫描电镜和半导体特性表征系统对该薄膜进行了表征和分析. 结果表明, 施加偏流可以使薄膜晶粒呈现明显的(110)晶面择优取向, 表面形貌发生较大变化. 当偏流为8A时, 薄膜晶粒达到最小值, 约为20nm, 薄膜表面也最光滑. 本文讨论了在低气压和电子轰击条件下(110)晶面择优取向的形成机制及其对薄膜显微形貌和电阻率的影响关系.

关键词: 纳米金刚石薄膜 , preferential orientation , morphology , electrical properties

贝壳珍珠层中文石晶体择优取向研究

张刚生 , 谢先德

无机材料学报

贝壳珍珠层中文石晶体的择优取向是其具有独特力学性能的重要原因．本文采用Ｘ射线衍射方法对我国主要育珠贝（蚌）的贝壳珍珠层中文石晶体的择优取向进行了较系统的研究，结果表明：海水马氏珍珠贝、大珠母贝及企鹅珍珠贝贝壳珍珠层中文石晶体ｃ轴垂直珍珠层面定向排列；淡水三角帆蚌壳珍珠层文石晶体有两种明显择优取向，一种ｃ轴垂直珍珠层层面，另一种ｃ轴与层面斜交，其（０１２）面网方向与层面平行．

关键词: 珍珠层 , Hyriopsis cuningii(Lea) , X-ray diffraction , preferential orientation

AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系

许小红 , 张富强 , 武海顺 , 张聪杰 , 李佐宜

无机材料学报

反应溅射制备ＡｌＮ 薄膜时，薄膜的择优取向与众多的实验参数有关．建立晶面择优取向程度与溅射气压、靶基距、靶功率等重要实验参数之间的函数关系，避免了研究每一项参数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多，得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数．同时，通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果比较，发现两者具有很好的一致性．这一系列函数关系式的建立，对进一步设计新的实验方案、验证已有的实验结果以及制备良好择优取向薄膜都有着重要意义．

关键词: 氮化铝薄膜 , experimental parameters , preferential orientation , function relation

织构化工艺在无铅压电陶瓷中的应用

伍萌佳 , 杨群保 , 李永祥

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2007.01025

近年来, 织构化工艺作为一种提高无铅陶瓷压电性能的有效方法, 在国内外得到了广泛地研究和关注. 本文综述了几种常用的织构化工艺, 包括热处理技术、非等轴粒子取向固化技术、模板晶粒生长技术、反应模板晶粒生长技术和多层晶粒生长法的发展与应用, 并详细讨论了每一种工艺对陶瓷微结构和织构化生长机制的影响.

关键词: 织构化工艺 , preferential orientation , Lead-free piezoceramics

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